大型マスク基板縦搬送台車

フレキシブル搬送
縦搬送台車/ストッカ台車は、作業者によるマニュアル運転の搬送台車です。基板保持は、固定式サイド保持ローラ/可動式サイド保持ローラ/可動式下面パッドにより構成しており、最大2000×1800/200Kgまでの様々なサイズの基板に対応することが出来ます。相手装置との受渡し条件にフレキシブルに対応することで、工場/工程毎に最適な搬送/ストック台車を製作いたします。

クリーンで安全な搬送
縦搬送台車は、緩衝キャスタの採用により、搬送中のマスク基板への振動を最小限に抑えています。また安定性を重視したキャスタ配置により大型基板搬送時でも、安定した搬送を実現しています。フレームは、全て高剛性アルミフレームを使用しており、台車本体の剛性確保と軽量/クリーン化を実現しています。

特徴
●最大2000×1800/200Kgまでのマスク基板に対応
●垂直姿勢搬送
●緩衝キャスタ採用
●最大3枚の基板をストック(ストッカ台車)


 縦搬送台車/ストッカ台車



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