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直動型ロボット<スライドモジュール.>
多彩なベースバリエーション(80/120/130/160/350/500)と多彩な駆動方法(エアーシリンダ/ボールネジ/タイミングベルト/ラック)によりあらゆる用途で活躍しています。

<用途例>
半導体/液晶製造設備(クリーン仕様)
自動車製造設備(クーラント対策品)
各種自動化設備

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直交座標型ロボット<多軸スライドモジュール>
スライドモジュールを自由組合せすることにより、直交座標型ロボットを構築します。
2軸(X/Y)/3軸(X/Y/Z)システムから、付加軸の追加まで、あらゆる形態に対応可能です。

<用途例>
半導体/液晶製造設備(クリーン仕様)
自動車製造設備(クーラント対策品)
各種自動化設備

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関節型直進ロボット<RAモジュール>
モータ単軸でツールを水平保持して左右に直進動作します。(水平使用可能。
単軸コントローラで使用可能です。
直動型ロボットに比べ、設置スペースを大幅ダウンサイジング。走行軸/Z軸等のオプションも豊富です。

<可搬重量> 1〜50Kg
<用途例> 各種ローダー装置

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3軸垂直多関節型ロボット<RAPモジュール>
モータ3軸で2次元面内を直進補間・円弧補間動作します。(水平使用も可能。
オプションの走行軸を付加することにより広範囲なスペースを移動可能です。

<可搬重量>1〜100Kg
<用途例>ウェハの一括搬送(クリーン仕様)

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トランスファロボット<TAモジュール>
工作機械間の搬送ロボット。
直進アームによる左右軸と上下軸の2軸構成でNCの付加軸として制御可能。
マシニングセンタ間のワーク搬送に威力を発揮します。
切粉、クーラント対策に優れ、マシン間を高速搬送します。

<可搬重量>70Kg
<用途例>シリンダヘッド/シリンダブロック等のダイレクト搬送

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ガラス基板搬送ロボット<GRXシリーズ>
FPD、PDPの大型ガラス基板をクリーンルーム内で搬送します。
上下反転軸/角度補正軸/全体走行軸等必要な機能を付加できます 。
GRH(水平アーム)型とGRV(垂直アーム)型が有り、用途によって最適なシステムを構築可能です。

<可搬重量>1〜60Kg
<用途例>大型ガラス基板/マスク基板の搬送

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基板カセット搬送ロボット<CRモジュール>
モータ2軸でカセットの出し入れ/全体旋回が可能。
ストッカシステムに組み込むことで威力を発揮します。

<可搬重量>100〜1000Kg
<用途>ガラス基板カセットの搬送

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ロボット応用システム<エムアルファロボットシステム>
ドリルタップロボット/トリミング(バリ取り)ロボット/パーツストッカなど、エムアルファのロボットを利用したロボットシステムを紹介しています。

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ロボットコントローラ<エムアルファのロボットコントロール>
ロボット形態に合わせた最適なコントロールを選択できます。
特殊な動作に対しても、オプションソフトの追加で実現可能。
また、コントローラレス(メカのみ)、指定モータの取付け等も対応しています。

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