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画像処理用リニアモータロボット
OEM対応リニアモータロボット(2010.3)
 主な特徴
弊社では、標準モジュール以外のロボットでもお客様の要望にあわせて開発いたします。画像処理用リニアモータロボットは、優れた速度安定性と高精度/低振動を実現し、安定した画像の取込みを実現しています。高剛性ベースやクリーン対応により検査装置のトータルコストダウンを実現しています。
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大型マスク基板縦搬送台車
マスク基板縦搬送/ストッカ台車(2010.1)
 主な特徴
大型化するマスク基板の装置間搬送に利用可能な搬送台車で、最大2000×1800/200Kgまでのマスク基板を搬送及びストックが可能です。マスク基盤の幅方向は、自在に調整出来ますから、各種サイズに対応可能。また、ストッカ台車では、最大3枚の基板を搭載可能ですから、工程間の作業調整にも効果的です。
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